薄膜功能材料
《薄膜功能材料》|总人气: 10| 总推荐: 0| 总收藏: 0| 简介:
薄膜功能材料所涉及的领域极为广泛,囊括了大多数的功能材料。近年来由于纳米技术的发展,各种新型功能薄膜不断涌现,各项性能指标不断改进,因此,我们介绍的是薄膜功能材料领域一部分。一、敏感薄膜敏感材料是各种传感器的关键部分,是利用材料在一定环境中性能(主要是电学性能)变化的特性来进行测量的元件。以前敏感元件大多为块体材料,近年来由于薄膜材料是选择比较容易,制作工艺较简单,且易于实现微型化和集成化,因而薄膜敏感元件引起了人们越来越多的研究。薄膜敏感材料种类很多,这里仅举几个典型的例子。热敏薄膜元件是利用材料性能随温度的改变,最常用的是电阻的变化,例如在AL2O3基片上制备叉指电极后溅射上SiC模就构成了SiCAIG??薄膜热敏电阻,SiC膜就构成了SiC薄膜热敏电阻,SiC热敏电阻环境稳定性好,可用于各种恶劣环境。在Al2O3或玻璃基片上镀上0.1~1mm厚的铂薄膜,再经精细加工成所需形状就构成铂薄膜热敏电阻,用这种方法得到的铂薄膜电阻值范围可达10~10kΩ,其电阻值精确,温度系数是常数,稳定性也很好,因此是一种很好的热敏元件。...最近更新
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